Inspecteren
- 
									
											Mini-spil in de meettechniekFijne positionering van een sensor met behulp van een miniatuur kogelomloopspindelsysteem in een meetsysteem. 
- 
									
											Precisie-kruistafel voor waferinspectieEen precisie-kruistafel maakt simultane inspectie van siliciumwafers van boven en onder mogelijk. 
- 
									
											Precisiekruistafel met kabelrups voor cleanroom-energiePrecisiekruistafel met innovatief cleanroomcompatibel energiesysteem voor het inspecteren van wafers.