Ellenőrzés
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											Mini-Spindel in der MesstechnikFeinpositionierung eines Sensors mit Hilfe eines Miniatur-Kugelgewindetriebs in einem Messsystems. 
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											Präzisionskreuztisch zur Wafer InspectionEin Präzisionskreuztisch ermöglicht die simultane Inspektion von Silicium-Wafern von oben und unten. 
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											Präzisionskreuztisch mit Reinraum-EnergiekettePräzisionskreuztisch mit innovativer reinraumtauglicher Energieführung zur Inspektion von Wafern.